近年來表面科學(xué)的研究十分活躍，這是因?yàn)楹芏辔锢?、化學(xué)過程(如催化、腐蝕等)大都發(fā)生在固體的表面，因此考察和研究固體表面和固體內(nèi)部的不同點(diǎn)，就顯得十分必要。

　　所謂表面，實(shí)際上就是氣體與固體之間的界面。甚至包括其過渡區(qū)域。如前所述，由于地球表面上的任何物體都被大氣所包圍，要想研究真正的表面，尋求一個(gè)毫無污染源的環(huán)境，是相當(dāng)困難的.但是，隨著近代超高真空技術(shù)的飛速發(fā)展，為解決這一問題提供了良好的條件。雖然在超高真空環(huán)境中所獲得的清潔表面仍然會(huì)通過吸附的方式被真空室內(nèi)殘余的氣體所污染.得不到清潔的表面，但是通過提高真空室內(nèi)的真空度，延續(xù)清潔表面被逐漸污染的時(shí)間，是可以達(dá)到實(shí)驗(yàn)要求的。實(shí)驗(yàn)表明，當(dāng)真空室真空度達(dá)到10-7 Pa的超高真空時(shí)，在固體表面吸附一個(gè)原子或分子層厚度時(shí)，所需要的時(shí)間大約為60min。時(shí)間雖然較短，但是充分利用這段時(shí)間通過多種表面儀器對(duì)實(shí)驗(yàn)件進(jìn)行表面的研究和測(cè)試，是*可能的。可見，作為表面科學(xué)研究的手段，研制表面科學(xué)實(shí)驗(yàn)所用的各種表面儀器及有關(guān)裝置是真空應(yīng)用領(lǐng)域中一項(xiàng)必*組成部分。

 

為達(dá)到*配置，選擇 實(shí)驗(yàn)室真空泵時(shí)，應(yīng)考慮下述各點(diǎn)：

1、真空泵的極限壓力應(yīng)該滿足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的極限壓力低于工藝要求約一個(gè)數(shù)量級(jí)。

 

2、每種泵都有一定的工作壓力范圍，因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在允許工作壓力以外長(zhǎng)時(shí)間工作。

 

3、真空泵在其工作壓力下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。